V procesu plazmové depozice z plynné fáze (PECVD) má každé elektrické spojení, od přenosu vysokofrekvenčního výkonu až po řízení procesního plynu, přímý vliv na rovnoměrnost depozice tenkých vrstev a výtěžnost třísek. Vzhledem k náročnému prostředí miniaturizovaných zařízení, vysokého vakua a silného elektromagnetického rušení...WAGOKonektory picoMAX® se svými třemi hlavními výhodami – „kompaktností, spolehlivostí a účinností“ – se staly ideálním řešením připojení pro systémy PECVD.
Inovativní kompaktní design
Přizpůsobení rozvržení přesných komor
Vnitřní prostor zařízení PECVD je omezený, což vyžaduje husté uspořádání napájecích, signálních a snímacích vodičů kolem reakční komory. picoMAX® využívá konstrukci s jednou pružinou a dvojčinným mechanismem s roztečí pinů 3,5/5,0/7,5 mm. Po zapojení zabírá o 30 % méně místa než předchozí produkty, což se dokonale přizpůsobí požadavkům na zapojení kolem komory. Jeho otvorový konektor je téměř kompletně zapuštěn do pinového konektoru, což umožňuje montáž vedle sebe bez ztráty pólů, což výrazně zlepšuje využití desky plošných spojů a umožňuje uspořádané uspořádání signálních a napájecích vodičů bez narušení pole proudění procesního plynu.
Robustní ochrana proti extrémním provozním podmínkám
Procesy PECVD zahrnují prostředí s vysokým vakuem, vysokofrekvenční plazmou a vibracemi, což klade přísné nároky na spolehlivost konektorů. picoMAX® se vyznačuje stabilní strukturou s odolností vůči vibracím až 12 g, která zabraňuje uvolnění spoje způsobenému vysokofrekvenčními vibracemi. Obsahuje také konstrukci zabraňující nesprávnému zasunutí a blokovací zařízení, které eliminuje chyby při instalaci a zabraňuje náhodnému odpojení, čímž zajišťuje nepřetržitý provoz zařízení bez prostojů.
Rychlé připojení bez použití nářadí
picoMAX® se vyznačuje technologií rychlého připojení bez použití nástrojů, která umožňuje připojení „plug-and-hold“ pro jednožilové i vícežilové vodiče pomocí za studena lisovaných konektorů. Složité zapojení vodičů se provádí v jednom kroku, což výrazně zlepšuje efektivitu montáže a zkracuje cykly ladění. Modulární konstrukce je kompatibilní s procesy pájení reflow a splňuje tak potřeby automatizované výroby na snížení nákladů. Pokrývá také všechny scénáře připojení PECVD: rozteč pinů 3,5 mm pojme signálové vodiče o průřezu 0,2–1,5 mm², zatímco rozteč pinů 5,0/7,5 mm podporuje napájecí vedení 16 A. Podporuje metody instalace „drát-deska“ a instalace skrz stěnu, je kompatibilní s rozvaděči a dutinami a splňuje normy elektrické bezpečnosti GB/T 5226.1, čímž vytváří solidní ochranu pro stabilitu procesu.
V polovodičovém průmyslu, kde je přesnost procesů na úrovni nanometrů prvořadá, jsou spolehlivé spoje zárukou vysokého výtěžku.WAGOpicoMAX® díky svému revolučnímu konceptu designu produktu dosahuje „malých rozměrů, vysokého výkonu“ v kompaktním provedení a poskytuje stabilní, efektivní a dlouhotrvající řešení připojení pro zařízení PECVD. To pomáhá výrobcům polovodičů překonávat výzvy spojené s přesným procesním připojením a chrání přesnost každého čipu na mikrometrové úrovni.
Čas zveřejnění: 13. března 2026